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插板阀 可替代瑞士VAT、美国HVA， 韩国Presys
主要进入的设施是中国北京大学、清华大学、其他R/D通过使用我们产品的欧洲和台湾设备公司向实验室交付了大量。
**主要设备**
• Evaporation
• Sputtering
• Diamond growth by MW-PACVD
• PECVD
• PVD(Cluster,Roll to Roll)
• Coating
• Etch
• Diffusion
•CVD
目前，我们是台湾Micron，UMC,AKT等;新加坡Micron,Global Foundries,UMC以及马来西亚的英菲尼亚半导体等;日本Micron和其它的装备，在国内，包括三星半导体在内的设备公司持续交货阶段。
